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RTA
“快速热退火”缩写
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英文单词
RTA
鸡次通轴行药诉质
是将工件加热到较
高温度,根据
材料和工件尺寸采用不同的保温时间,然后进行快速
冷却,目的是使
金属内部组织达到或接近
平衡状态,获得良好的工艺
性能和使用性能。
中文名
快速热退火
外文名
rapid thermal annealing
目 的
使金属获得良好的工艺和使用性能
简 称
RTA
应用于
现代半导体产业
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