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RTA
“快速热退火”缩写
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英文单词
R
吗宽重练医论保
TA是将工件加热到较
高温度,根据材
料和工件尺寸采用不同的保温时间,然后进行快速冷却,目的是使金属内部组织达到或接近平衡状态,获得良好的工艺性能和使用性能。
中文名
快速热退火
外文名
rapid thermal annealing
目 的
使金属获得良好的工艺和使用性能
简 称
RTA
应用于
现代半导体产业
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