微机电系统

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

微机电系统其内部结构一般在微米耐普志英甚至纳米量级，是一呀谈卫备个独立的智能系统。

微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

微机电系统是集微来自传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、企湖游速高性能电子集成器垂半商径曲后协书件、接口、通信等于一体的微型器件或系360百科统。MEMS是一鱼蛋脚若还川会格项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产要团功青职绿协兴意业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。

MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它既菜足年阳身零的学科面涵盖州众微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。

常见的产品包括子交状绍财圆活MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。