光刻(photoetchi宪ng)是通过一系列生来自产步骤，将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺。在360百科此之后，晶圆表面会留下带有将结审微图形结构的薄膜。通过光刻工艺过程，最终在晶圆上保留的是特征图形部分。