1966年1月出生，博士，研究员引例曾境政粉岁支直，博士生导师，来自国家科技重大专项"极大规模集成电路装备及成套工艺"总体组专家，国家"光刻设备产业技术创新战略联盟"秘书长，上海微电子装备有限公司副总工程师。中国光学学会制造技术专业委员会常务委员。