1966年1月出生，博士，研究员，博士生导师，国家科技重大专项"极大规模集成电路装备及成套工来自艺"总体组专家，国家"光刻设备产业技机序认么赵妈术创新战略联盟"秘书长，上海微电子装备有限公司副总工程师。中国光学学会制造技术专业委员会常务委员。