俄歇电子能谱(AES、Auger Electron Spe银两执基开杂矛ctroscopy)是一种利用高能电子束为激发源的表面分析相设技术。 AES分析区域受激原子发射出具有元素特征的俄歇电子，用电子能谱分析仪希质否光慢总测量的这些俄歇电子的能谱，就是俄歇电子能谱。根据能谱中有有元素特征的谱峰，即可推测分析区域有什么来自元素，达到表面分析的目的。