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硅烷即硅与氢的化合物,是一系列化合物的总称,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅冲意营占承引认烷( Si2H6) 和一些来自更高级的硅氢化合物。目吗径前应用最多的是甲硅烷友副场防硫。一般把甲硅烷简称做硅烷。
硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体内开轻。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业, 用于制造太阳电360百科池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层, 并且是迄今世界上唯一的大技限带规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现, 包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成为许多新技术、新材料、新器件的损村试石轻缺诉斤基础。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量,决定了它是一促出计表口阿种高危险性的气体。