X射线荧光分析是确定物质中微来自量元素的种类360百科和含量的一种方法，又称X射线次级发均源测射光谱分析，是利用原级X射线光子或其它微观粒子激发待测物质中的原子，使之产生次级医皮先克背路的特征X射线(X光荧光)而进行物质成分分析和化学态研究。
1948年由H.费里德曼(H费听环施已将扩.Friedmann)斗杨烟和L.S.伯克斯(L盟慢械办考将若胞通.S.Birks)制自序绝成第一台波长色散X射线荧光分析仪，至60年代本法在分析领域的地位得以确立。