变压吸附法是近期发展起来的新工艺。Skarstrome等人于1960年发明，最初在工业上营该源仅情末主要用于空气干燥和氢气来自纯化。1970年后才开发用于空气制氧或制氮，1976年后逐渐开发成功用碳分子筛，或用沸石分子筛的真空变压吸附法，从空360百科气中制氧或氮，198卷刘转胜置且击0年实现了用单床PSA法吸附制取医用氧。