机电系统是一种集成机械、电子、控制和软件等多学科技术的复杂系统。它通常用于提高设备的性能、效率和智能化水平。
在微机电系统（MEMS）领域，这些系统被进一步微型化，尺寸可以小到几厘米甚至更小。MEMS是一种独立的智能系统，主要由传感器、执行器和微能源三大部分组成。
传感器负责感知环境变化或物理参数，并将这些信息转换为电信号。执行器则根据接收到的信号执行相应的动作，例如移动、变形或产生力。微能源部分则为整个系统提供必要的能量支持。