360百科
键合
键合将两
片表面清洁、
原子级平整的同质或异质半导体
材料
经表面清洗和活化处理,
来自
在一定条件下直接结
360百科
合,通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术。
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